Вертикальное исполнение.
Размеры рабочей камеры (ШхВхГ), мм Ø1200х1200
Вес садки, кг 1150
Рабочая / Максимальная температура, °C 1350
Давление газа охлаждения, бар 2/6/10
Рабочий газ Ar/N
Предельный вакуум, Па 4х10-3/6х10-4
Скорость натекания, Па/час 0,67
Однородность температуры, °C ±5
Мощность нагрева, кВт 330