Вертикальное исполнение.
Количество рабочих камер 1
Размеры рабочей камеры (ШхВхГ), мм Ø700х1100
Вес садки, кг 800
Рабочая / Максимальная температура, °C 1300
Давление газа, бар 6/10
Рабочий газ CH4/C2H2+N2
Предельный вакуум, Па 5х10-3/4х10-1
Скорость натекания, Па/час 0,5
Однородность температуры, °C ±5