Вертикальное исполнение.
Количество рабочих камер 1
Размеры рабочей камеры (ШхВхГ), мм Ø1500х2000
Вес садки, кг 1800
Рабочая / Максимальная температура, °C 1150/1350
Давление газа охлаждения, бар 2
Рабочий газ Ar/N
Предельный вакуум, мбар 5×10-2/5×10-5
Скорость натекания, Па/час 0,67
Однородность температуры, °C ±5
Мощность нагрева, кВт 540