Горизонтальное исполнение.
Количество рабочих камер 1
Размеры рабочей камеры (ШхВхГ), мм 300х300х400
Вес садки, кг 75
Рабочая / Максимальная температура, °C 1300
Давление газа охлаждения, бар 1,5
Рабочий газ Ar/N
Предельный вакуум, мбар 5×10-2/5×10-5
Скорость натекания, Па/час 0,67
Однородность температуры, °C ±5
Мощность нагрева, кВт 48