Растровый электронный микроскоп JEOL JSM-IT800

Производитель:

JEOL

Страна:

Япония

Тип:

электронный

Увеличение:

10x — 1 000 000x

Катод:

Термополевой (Шоттки)

Вакуумная система:

Полностью автоматизирована, Ионный насос — 2 шт., Турбомолекулярный насос — 1 шт., Форвакуумный ротационный насос — 2 шт.

Диапазон рабочих отрезков:

от 2 до 41 мм

Низковакуумный режим:

Доступен

Опционально:

Энергодисперсионный спектрометр, Спектрометр с дисперсией по длинам волн, Система дифракции отраженных электронов, Система катодолюминесценции, Наноманипуляторы, Детектор тока, индуцированного пучком (EBIC), Система РЭМ-томографии Gatan 3View, Спектрометр мягкого рентгеновского излучения

Предметный стол:

Эвцентрический гониометрический столик, Моторизованный по 5-ти осям, Диапазон перемещений: X: 70 мм, Y: 50 мм, Z: 39 мм, Наклон: от -5° до 70°, Вращение: 360°, непрерывное

Разрешение в режиме анализа:

3,0 нм (15 кВ, 5 нА, рабочий отрезок 10 мм)

Разрешение в режиме высокого вакуума:

0,7 нм (20 кВ),, 1,3 нм (1 кВ)

Разрешение в режиме низкого вакуума:

1,8 нм (30 кВ, 30 пА)

Ток пучка:

1 пА - 300 нА

Характеристики