Увеличение:
5x — 600 000x (в пересчете на размеры фотопластины 128 x 96мм)
Вакуумная система:
Полностью автоматизирована, Турбомолекулярный насос — 1 шт., Ионный насос — 2 шт., Форвакуумный ротационный насос — 1 шт.
Низковакуумный режим:
Доступен
Опционально:
Энергодисперсионный спектрометр, Спектрометр с дисперсией по длинам волн, Система дифракции отражённых электронов, Спектрометр комбинационного рассеяния света, Система рентгеновского флуоресцентного микроанализа, Система катодолюминесценции, Наноманипуляторы, Детектор тока, индуцированного пучком(EBIC), Столики образцов с функциями охлаждения и нагрева, Столик образцов для механических испытаний
Предметный стол:
Эвцентрический гониометрический столик, Моторизованный по 5-ти осям, Диапазон перемещений: X: 125 мм, Y: 100 мм, Z: 80 мм, Наклон: от -10 до 90°, Вращение: 360°, непрерывное
Размеры получаемых изображений:
до 5120х3840 пикс
Разрешение в режиме высокого вакуума:
1,0 нм (20 кВ, рабочий отрезок – 5 мм), 3,0 нм (1 кВ, рабочий отрезок – 5 мм), 3,0 нм (15 кВ, 3 нА, рабочий отрезок –10 мм)
Разрешение в режиме низкого вакуума:
1,8 нм (BEI, 15 кВ, рабочий отрезок – 5 мм, 10 Па)
Ток пучка:
от 1 пА до 300 нА
Формат изображения:
BMP, TIFF, JPEG
Формат регистрируемых видеороликов:
AVI