Верхний детектор электронов (UED), Нижний детектор вторичных электронов (LED), Верхний детектор вторичных электронов (USD), Детектор отраженных электронов для малых рабочих отрезков (BED)
Диапазоны перемещений столика для образцов РЭМ:
X: 70мм, Y: 50мм
Источник электронов:
Термополевой(катод Шоттки)
Опционально:
Энергодисперсионный спектрометр, Спектрометр с дисперсией по длинам волн, Система дифракции отраженных электронов, Система катодолюминесценции, Наноманипуляторы, Детектор тока, индуцированного пучком (EBIC)
Предметный стол:
Полностью эвцентрический гониометрический столик, моторизованный по 5 осям