Растровый электронный микроскоп JEOL JIB-4700F

Производитель:

JEOL

Страна:

Япония

Тип:

электронный

Увеличение:

50x — 1 000 000x, 20x — 1 000 000x (опционально)

Апертурная диафрагма:

13-позиционная, моторизованная

Вакуумная система:

Сорбционно-ионный насос – 3 шт., Турбомолекулярный насос – 1 шт., Форвакуумный насос – 1 шт.

Источник ионов:

галлиевый

Источник электронов:

Термополевой катод Шоттки (ZrO/W)

Максимально допустимые размеры образцов:

Диаметр – 50 мм, высота – 20 мм

Опционально:

Энергодисперсионный спектрометр (ЭДС), Спектрометр с дисперсией по длинам волн (ВДС), вертикальный, Система дифракции отраженных электронов (ДОРЭ), Детектор катодолюминесценции, Микроманипуляторы Omniprobe, Системы напыления образцов углеродом, вольфрамом и платиной, Криогенный столик образцов

Предметный стол:

Ось X: 50 мм, Ось Y: 50 мм, Ось Z: от 1,5 до 40 мм, Прецизионное позиционирование по оси Z: ±3 мм, Наклон: от -5° до +70°, Вращение: 360°, непрерывное

Разрешение изображений во вторичных электронах:

4 нм (при ускоряющем напряжении 30 кВ), 1,2 нм (при ускоряющем напряжении 15 кВ и рабочем отрезке 4 мм), 3,0 нм (при ускоряющем напряжении 1 кВ и рабочем отрезке 2 мм)

Ток пучка:

от 1 пА до 90 нА (при ускоряющем напряжении 30 кВ), от 1 пА до 300 нА (при ускоряющем напряжении 15 кВ)

Характеристики